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经营范围
发明名称
APPARATUS FOR BEVEL ETCH OF WAFER EDGE AND METHOD FOR BEVEL ETCHING USING THE SAME
摘要
申请公布号
KR20060037819(A)
申请公布日期
2006.05.03
申请号
KR20040086875
申请日期
2004.10.28
申请人
HYNIX SEMICONDUCTOR INC.
发明人
YOON, HYO SEOB;KIM, GYU HYUN
分类号
H01L21/302
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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