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发明名称 DUPLEX CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM AND METHOD OF PULSED PROCESSING USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR20060037550(A) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 KR20040086540 申请日期 2004.10.28
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KOO, JUNE MO;PARK, YOUNG SOO;SHIN, SANG MIN;KIM, SUK PIL
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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