一种溶胶/凝胶制备Sm<SUB>2</SUB>O<SUB>3</SUB>光电薄膜的方法

摘要

一种溶胶/凝胶制备Sm₂O₃光电薄膜的方法，首先将SmCl₃·6H₂O溶解于蒸馏水中，配制成透明溶液，将透明溶液加热搅拌，并采用氨水溶液调节透明溶液的pH值为5.6～5.9作为镀膜液备用；将基片置于镀膜液中镀膜；将镀好薄膜的基片在室温下干燥后，放入60℃的烘箱内干燥0.5－3小时，然后于300－800℃热处理0.5－3小时，自然冷却后即可以在基片表面获得定向生长的Sm₂O₃光电薄膜，本发明通过简单的改变镀膜液的浓度和镀膜次数来改变薄膜的厚度，在低温和温和的化学条件下进行的，工艺简单容易控制，成本较低，可以制备大面积薄膜，采用本发明的制备方法制备的Sm₂O₃光电薄膜结构良好、生长均匀且成定向生长，该薄膜具有优异的光电性能。

主权项

1、一种溶胶/凝胶制备Sm2O3光电薄膜的方法，其特征在于：1)首先将SmCl3·6H2O溶解于蒸馏水中，配制成Sm3+浓度为0.05-0.1mol/L的透明溶液；2)将透明溶液在45～55℃加热搅拌，并采用质量百分比为5-10％的氨水溶液调节透明溶液的pH值，使透明溶液的PH值为5.6～5.9，搅拌1-3小时后形成均匀溶胶，作为镀膜液备用；3)将基片置于镀膜液中，以0.2-1cm/min的速度提拉基片进行镀膜；4)将镀好薄膜的基片在室温下干燥后，放入60℃的烘箱内干燥0.5-3小时，然后于300-800℃热处理0.5-3小时，自然冷却后即可以在基片表面获得定向生长的Sm2O3光电薄膜。