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发明名称 MICROMECHANICAL COMPONENT AND CORRESPONDING PRODUCTION METHOD
摘要
申请公布号 EP1347937(B1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20010990295 申请日期 2001.12.13
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 BENZEL, HUBERT;WEBER, HERIBERT;ARTMANN, HANS;SCHAEFER, FRANK
分类号 B81B3/00;B81C1/00;H01L29/84 主分类号 B81B3/00
代理机构 代理人
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