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发明名称 METHOD OF MANUFACTURING VACUUM PLASMA TREATED WORKPIECES
摘要
申请公布号 EP1651794(A1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20040738110 申请日期 2004.07.26
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 ELYAAKOUBI, MUSTAPHA;AING, PHANNARA;OSTERMANN, RAINER;NEUBECK, KLAUS;RIOU, BENOIT
分类号 C23C16/44;C23F1/00;H01J37/32;H05H1/24;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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