单块正交探测器

摘要

本发明涉及一种从包括由干涉仪提供的正交偏振物光束和参考光束部分的输入光束中产生四种信号的小型单块正交探测器。使用两个棱镜之间的第一分束界面，在棱镜的两个空气界面表面反射，及使用第二分束元件，单个输入光束可以分成四个输出光束。通过在分束表面上涂有对相对反射光束的透射光束的部分产生不同相移的涂层，相应不同的预定相移可以施加在相应的输出光束上。四个相对相移输出光束通过偏振器射向相应的探测器以提供用来消除许多常用模式误差的四个信号且非常精确地确定原始输入光束的部分之间的相位差。

主权项

1.一种提供表示输入光束的正交偏振部分之间的相位差的信号的单块正交探测器，包括：限定将输入光束分成两束光束的第一界面的第一对棱镜；限定将两束光束分成四束光束的第二界面的分束元件；设置在第一探测器上游的第一偏振器；和设置在第二探测器上游的第二偏振器，其中第一和第二探测器输出两个能够被分析的信号以确定输入光束部分之间的相位差。