发明名称 |
加热器和晶片加热装置以及该加热器的制造方法 |
摘要 |
本发明涉及一种能够减小被加热物表面的面内温度差,且能够短时间将被加热物加热到所期望的温度的加热器。该加热器具有板状体,该板状体具有第1主面与第2主面,其第1主面为放置被加热物的置载面,其内部或第2主面具有电阻发热体,电阻发热体为连续带状体,该连续带状体,具有位于互不相同半径的同心圆中的两个圆的一方圆周上的至少两个圆弧形带、位于另一方圆周上的至少1个圆弧形带、以及分别与一方圆周上的圆弧形带和位于另一方圆周上的圆弧形带相连接,且相互邻接的连接圆弧形带;相邻的连接圆弧形带间的连接间距,小于一方圆周上的圆弧形带与位于另一方圆周上的圆弧形带之间的圆弧间距。 |
申请公布号 |
CN1767149A |
申请公布日期 |
2006.05.03 |
申请号 |
CN200510107141.4 |
申请日期 |
2005.09.28 |
申请人 |
京瓷株式会社 |
发明人 |
中村恒彦 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H05B3/00(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
中科专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
朱丹 |
主权项 |
1.一种加热器,它包括板状体,该板状体具有第1主面与第2主面,其第1主面为放置被加热物的置载面,其内部或第2主面具有电阻发热体,其特征在于:所述电阻发热体为连续带状体,该连续带状体,具有位于互不相同半径的同心圆中的两个圆的一方圆周上的至少两个圆弧形带、位于另一方圆周上的至少1个圆弧形带、以及分别与所述一方圆周上的圆弧形带和位于所述另一方圆周上的圆弧形带相连接,且相互邻接的连接圆弧形带;所述相邻的连接圆弧形带间的连接间距,小于所述一方圆周上的圆弧形带与位于所述另一方圆周上的圆弧形带之间的圆弧间距。 |
地址 |
日本京都府 |