| 发明名称 | 晶圆片或液晶面板卡匣的存取侦测装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型公开了一种晶圆片(wafer)或液晶面板(T.F.T)卡匣(cassette)的存取侦测装置，其在卡匣内部设有插槽，以供放置晶圆片(或液晶基板)，而卡匣底部设有透空部，其还包括超音波装置设于卡匣的底部外，以供发射出超音波，对晶圆片的表面进行侦测，从而达到确实解析要存取的晶圆片(或液晶基板)的正确位置，以准确存取晶圆片(或液晶基板)。 | ||
| 申请公布号 | CN2777491Y | 申请公布日期 | 2006.05.03 |
| 申请号 | CN200520004705.7 | 申请日期 | 2005.02.05 |
| 申请人 | 欣禾国际企业有限公司 | 发明人 | 林是彬 |
| 分类号 | G01B17/00(2006.01);H01L21/66(2006.01);G01R31/26(2006.01) | 主分类号 | G01B17/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人 | 孙皓晨 |
| 主权项 | 1、一种晶圆片或液晶面板卡匣的存取侦测装置，其特征在于：该装置设有可供发射出超音波、并对晶圆片表面进行侦测的超音波装置。 | ||
| 地址 | 台湾省台北市庄敬路478号2楼之3 | ||