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发明名称 FABRICATION OF A FERAM CAPACITOR USING A NOBLE METAL HARDMASK
摘要
申请公布号 EP1652220(A1) 申请公布日期 2006.05.03
申请号 EP20040749221 申请日期 2004.07.06
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 EGGER, ULRICH;ZHUANG, HAOREN;BRUCHHAUS, RAINER
分类号 H01L21/02;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/02;H01L27/115;H01L21/28 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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