石英晶圆切割机的带锯顶掣结构

摘要

本实用新型公开了一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机由一机台、至少一致动元件及一带锯所构成，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；该致动元件设置于机台内；该带锯具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；于该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件的周缘与带锯的平面部呈点状接触。由此，可使该带锯于切割时具有稳定、平整、偏摆小及不易扭曲的功效，而能增加切割速度及延长带锯的寿命。

主权项

1.一种石英晶圆切割机的带锯顶掣结构，该切割机包括有：一机台，该机台具有一工作区间，且该工作区间的一面具有一平台；至少一致动元件，设置于机台内；一带锯，具有一平面部及一锯齿部，该带锯设置于机台内且与致动元件连接，并由工作区间穿过于平台上；其特征在于：该机台内且邻近于工作区间二端的位置处分别设置至少一顶掣元件，而该顶掣元件的周缘与带锯的平面部呈点状接触。