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发明名称
Stacked structure and production method thereof
摘要
申请公布号
EP1651560(A1)
申请公布日期
2006.05.03
申请号
EP20040767683
申请日期
2004.07.15
申请人
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人
MORICEAU, HUBERT;ASPAR, BERNARD;MARGAIL, JACQUES
分类号
B81C1/00;H01L21/762;(IPC1-7):B81B3/00;H01L21/20
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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