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发明名称 WAFER POSITION CALIBRATION UNIT OF SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号 KR20060036858(A) 申请公布日期 2006.05.02
申请号 KR20040085974 申请日期 2004.10.26
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 KIM, SEUNG JIP
分类号 H01L21/304;H01L21/68 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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