| 发明名称 |
Micromirror apparatus with improved in-plane rotation tolerance |
| 摘要 |
A micromirror apparatus is provided with edge portion(s) of the micromirror(s) being tapered to provide a desired micromirror fill ratio and a desired amount of in-plane rotation tolerance.
|
| 申请公布号 |
US7038831(B2) |
申请公布日期 |
2006.05.02 |
| 申请号 |
US20040954811 |
申请日期 |
2004.09.30 |
| 申请人 |
LUCENT TECHNOLOGIES, INC. |
发明人 |
MAROM DAN MARK |
| 分类号 |
G02B26/00 |
主分类号 |
G02B26/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
