电浆处理装置,电浆处理方法及电脑可读取的记忆媒体

摘要

本发明系具有在处理室内互相对向配置的上部电极及晶圆支持用的下部电极，在下部电极连接一施加相对高频率的第1高频电力之第1高频电源及施加相对低频率的第2高频电力之第2高频电源，且在上部电极连接可变直流电源，在处理室内供给处理气体而电浆化，进行电浆蚀刻。