往复输送器与其基板承载方法

摘要

所揭示系一种往复输送器，其中，大型基板可免于在其重量下凹变或滑动。此种往复输送器系包含有：本体、一些可支承基板之侧部的支承销、和一些设置在其本体侧部处而可轴向转动及由右至左之方向移动的往复输送器臂。该等支承销系分别与该等往复输送臂相耦合。一对支体支承基板侧部未受到支承销支承之部分。此等支体系可移动地沿前至后之方向耦合至主框架。驱动器可使该等往复输送器臂，沿右至左之方向移动及转动。此驱动器藉着该主框架使该等支体由前至后之方向移动。真空仪器组体提供给每一支承销，俾藉由真空力牢固地固定基板。