螺栓脱落防止构造、以及固定环

摘要

〔课题〕提供在半导体制造装置中使用，以保持必要的保持力的状态下，脱落容易且便宜的螺栓脱落防止构造、以及固定环。〔解决手段〕在使本体固定螺栓10贯通的螺丝插通孔12被形成的被固定体的座孔12a被形成，其系和本体固定螺栓10头抵接的面相反侧的面，比插通孔12直径大，外周为圆筒形状，后端部的直径比座孔12a的内径大，前端部的直径和座孔12a的内径相同或小，在前端部和本体固定螺栓10的峰部卡合的螺栓卡合部13a被形成的固定环13系藉由在座孔12a被装着，以防止本体固定螺栓10的脱落。