均匀移除有机材料之方法

摘要

一种基板上的有机材料之移除方法。此基板系置于电浆处理室中。第一气体会提供给电浆处理室内的内部区。第二气体会提供给电浆处理室的外部区，其中外部区围绕内部区，并且第二气体具有含碳成分，其中第二气体之含碳成分的浓度大于第一气体之含碳成分的浓度。从第一气体及第二气体中同时产生电浆。某些或全部的有机材料会使用产生的电浆而移除。