用于减少电子元件制造工具机体之方法及设备

摘要

在本发明的至少一个态样中系提供一种方法，其包括定位电子元件制造工具的真空负载室，藉以使真空负载室占据第一占地面积；把主机动力源定位在第二占地面积中，其中第二占地面积的大部分位于第一占地面积中，藉以减少了电子元件制造工具的覆盖区域。此外，或者可选择地，一个主机控制器可放置使得它所占据的覆盖区域基本上与真空负载室的覆盖区域重叠。此外还提供本发明的其他多个态样。