控制半导体晶圆表面温度之光罩结构

摘要

一种光罩结构，用以于先进的快速热处理程序中控制半导体晶圆表面各个部分的温度。此种光罩结构包含了由可透光材质所制成之一基材，基材上并定义有至少一个区块，每个区块中至少有一部分涂布有热辐射反射材料。可利用此种热辐射反射材料的种类或厚度来控制热辐射的通过量。