用以调整刷洗器皮带张力的方法及设备

摘要

在第一态样，系提供一种用以调整半导体元件制造工具之皮带张力之方法及设备。第一方法包括(1)连结一弹性元件至一连结至皮带之皮带轮及该半导体元件制造工具之固定表面之间；及(2)收紧或放松该弹性元件以调整该皮带轮之高度及倾斜之至少一者及一连结至该皮带轮之皮带张力。本发明亦提供多种其他态样。