发明名称 一种微型阵列复层探棒结构
摘要 一种微型阵列复层探棒结构包括有电路板及微型量测元件组,其中电路板设置有量测电路,而微型量测元件组设置于电路板,包括有连接量测电路且成阵列状排列之数个微型量测元件,以透过微型量测元件选择性地量测多点的磁场及电场之强度分布。
申请公布号 TWI254134 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW093140056 申请日期 2004.12.22
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 唐敏注;柯文淞;黄玉婷;徐斌峰
分类号 G01R29/08 主分类号 G01R29/08
代理机构 代理人
主权项 1.一种微型阵列复层探棒结构,其包括有: 一电路板,设置有一量测电路;及 一微型量测元件组,设置于该电路板,包括有连接 该量测电路且成阵列状排列之复数个微型量测元 件,以透过该微型量测元件选择性地量测多点的磁 场及电场之强度分布。 2.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件之材质系选自由铜、金、 银、钯及钨所成之组合。 3.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个磁性材料层,各该微型量测元件系为微 型磁场量测元件形式,并成阵列状排列地被两两该 磁性材料层所夹叠,以透过该微型量测元件量测多 点的磁场强度分布。 4.如申请专利范围第3项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、镍 及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系铁 氧磁体所成之组合。 5.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个磁性材料层,各该微型量测元件系为微 型磁场量测元件形式,并被两两该磁性材料层所夹 叠,且成阵列状排列地设置于该电路板,以透过该 微型量测元件量测多点的磁场强度分布。 6.如申请专利范围第5项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、镍 及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系铁 氧磁体所成之组合。 7.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个介电材料层,各该微型量测元件系为微 型电场量测元件形式,并成阵列状排列地被两两该 介电材料层所夹叠,以透过该微型量测元件量测多 点的电场强度分布。 8.如申请专利范围第7项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、氧 化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成之 组合。 9.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个介电材料层,各该微型量测元件系为微 型电场量测元件形式,并被两两该介电材料层所夹 叠,且成阵列状排列地设置于该电路板,以透过该 微型量测元件量测多点的电场强度分布。 10.如申请专利范围第9项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、氧 化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成之 组合。 11.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个磁性/介电材料层,各该微型量测元件 系选自微型磁场量测元件形式及微型电场量测元 件形式所成组合之一,并成阵列状排列地被两两该 磁性/介电材料层所夹叠,以透过该微型量测元件 量测多点的磁场及电场之强度分布。 12.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件及复数个磁性/介电材料层,各该微型量测元件 系选自微型磁场量测元件形式及微型电场量测元 件形式所成组合之一,并被两两该磁性/介电材料 层所夹叠,且成阵列状排列地设置于该电路板,以 透过该微型量测元件量测多点的磁场及电场之强 度分布。 13.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件、一磁性/介电材料层、及数量总和对应于该微 型量测元件之一个以上磁性材料层与一个以上介 电材料层,各该微型量测元件系选自微型磁场量测 元件形式及微型电场量测元件形式所成组合之一, 且两种形式之数量至少有一个,并成阵列状排列于 该磁性/介电材料层,且使微型磁场量测元件形式 之该微型量测元件被该磁性/介电材料层及该磁性 材料层所夹叠,以及使微型电场量测元件形式之该 微型量测元件被该磁性/介电材料层及该介电材料 层所夹叠,以透过该微型量测元件量测多点的磁场 及电场之强度分布。 14.如申请专利范围第13项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、 镍及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系 铁氧磁体所成之组合。 15.如申请专利范围第13项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、 氧化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成 之组合。 16.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件、数量对应于该微型量测元件之一磁性/介电材 料层、及数量总和对应于该微型量测元件之一个 以上磁性材料层与一个以上介电材料层,各该微型 量测元件系选自微型磁场量测元件形式及微型电 场量测元件形式所成组合之一,且两种形式之数量 至少有一个,并使微型磁场量测元件形式之该微型 量测元件被该磁性/介电材料层及该磁性材料层所 夹叠,以及使微型电场量测元件形式之该微型量测 元件被该磁性/介电材料层及该介电材料层所夹叠 ,且成阵列状排列地设置于该电路板,以透过该微 型量测元件量测多点的磁场及电场之强度分布。 17.如申请专利范围第16项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、 镍及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系 铁氧磁体所成之组合。 18.如申请专利范围第16项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、 氧化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成 之组合。 19.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件、数量对应于该微型量测元件之复数个成对的 磁性材料层与复数个成对的介电材料层,各该微型 量测元件系选自微型磁场量测元件形式及微型电 场量测元件形式所成组合之一,且两种形式之数量 至少有一个,并使微型磁场量测元件形式之该微型 量测元件被两两该磁性材料层所夹叠,以及使微型 电场量测元件形式之该微型量测元件被两两该介 电材料层所夹叠,且成阵列状排列地设置于该电路 板,以透过该微型量测元件量测多点的磁场及电场 之强度分布。 20.如申请专利范围第19项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、 镍及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系 铁氧磁体所成之组合。 21.如申请专利范围第19项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、 氧化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成 之组合。 22.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,其中该微型量测元件组系包括有该微型量测元 件、一磁性材料层、一磁性/介电材料层及一介电 材料层,各该微型量测元件系选自微型磁场量测元 件形式及微型电场量测元件形式所成组合之一,并 且微型磁场量测元件形式之该微型量测元件成阵 列状排列地被该磁性材料层及该磁性/介电材料层 所夹叠,微型电场量测元件形式之该微型量测元件 成阵列状排列地被该介电材料层及该磁性/介电材 料层所夹叠,以透过该微型量测元件量测多点的磁 场及电场之强度分布。 23.如申请专利范围第22项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该磁性材料层之材质系选自由铁、钴、 镍及其化合物,锰锌系、镍锌系、铜锌系、锂锌系 铁氧磁体所成之组合。 24.如申请专利范围第22项所述微型阵列复层探棒 结构,其中该介电材料层之材质系选自由氧化钛、 氧化铝、钛酸钡、矽、玻璃纤维板、电木板所成 之组合。 25.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,系应用于电磁场量测。 26.如申请专利范围第1项所述微型阵列复层探棒结 构,系应用于电磁干扰之量测。 图式简单说明: 第1A图为本发明的第一实施例分解图; 第1B及1C图为本发明的第一实施例衍生设计之分解 图; 第2图为本发明的第一实施例组合图; 第3A图为本发明的第二实施例分解图; 第3B及3C图为本发明的第二实施例衍生设计之分解 图; 第4图为本发明的第二实施例组合图; 第5图为本发明的第三实施例分解图; 第6图为本发明的第四实施例分解图; 第7图为本发明的第五实施例分解图; 第8图为本发明的第六实施例分解图; 第9A图为本发明的第七实施例分解图; 第9B图为本发明的第七实施例组合图; 第10图为本发明的第八实施例分解图; 第11图为本发明的第九实施例分解图;及 第12图为本发明的第十实施例分解图。
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