| 主权项 |
1.一种适用于分区图像观察装置的图案形成构件, 系适用于,将来自前述试料的光线作为分区图像而 取得的分区图像观察装置之图案形成构件,且将光 源射出的光线选择性地照射在试料上,扫描前述试 料,依据被照射的光,选择从该试料放射的光之图 案形成构件,其特征为:前述图案形成构件系具有 可透过光线的透光部以及可遮蔽光线的遮光部交 互形成之旋转碟,藉由在光路上旋转前述旋转碟的 方式照射前述试料,且设置具有与观察视野内的旋 转碟的旋转扫描方向(H方向)不平行之不同方向的 直线状图案之异方向性区域。 2.如申请专利范围第1项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述遮光部的直线 状图案的宽度尺寸,系设定为大于前述透光部的直 线状图案的宽度尺寸。 3.如申请专利范围第2项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述旋转碟可被分 割为多数的区域,而前述各区域的图案也不同。 4.如申请专利范围第3项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述多数的区域系 被配置在同心圆上,在各别的区域上,具有不同的 直线状的图案。 5.一种分区图像观察装置,其特征为:使用申请专利 范围第1项记载之图案形成构件,以光线对前述试 料加以扫描,并且透过前述图案形成构件取得来自 于前述试料的反射光线作为分区图像。 6.如申请专利范围第5项记载之适用于分区图像观 察装置,其中,另具备有可使朝向前述旋转碟上的 试料的投影位置加以变化的移动机构。 7.一种分区图像观察装置,其特征为:将透过了激发 滤光器的预定波长之激发光线,射入申请专利范围 第1项所记载之图案形成构件,透过前述图案形成 构件来扫描试料,并且将从前述试料所发出的萤光 ,透过前述图案形成构件以及可选择前述萤光波长 的吸收滤光器,取得而作为分区图像。 8.如申请专利范围第3项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述异方向性区域, 系形成预定的中心角的扇状区域,前述异方向性区 域内的直线图案,系与其他区域的直线状图案不同 方向的透光部以及遮光部之直线状图案。 9.如申请专利范围第3项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述异方向性区域, 系预定的宽度之区域,在前述异方向性区域内的直 线图案,系与其他区域的直线图案不同方向的透光 部以及遮光部之直线状图案。 10.如申请专利范围第4项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述多数的区域的 图案中,至少有两种,系前述可遮蔽光线的直线部 的宽度与前述可透过光线的直线部的宽度的比例 不同之图案。 11.如申请专利范围第10项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,前述旋转碟中,透 过光线的直线部的宽度为固定。 12.如申请专利范围第11项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,又具备有:在前述 旋转碟上的直线状图案的透光部与遮光部的方向 不同的多数的区域。 13.如申请专利范围第12项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,分别设在前述同 心圆状的各复数领域之不同方向区域的宽度为X, 各前述直线状图案的透光部与遮光部的周期为W时 ,则各复数领域的X是与W成比例。 14.如申请专利范围第13项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,系将透光部宽度 相同的至少两个同心圆状区域,当透光部与遮光部 的周期W不同时,依周期W较大者配置在外侧之顺序, 以使内侧和外侧的同心圆区域的不同方向区域的 宽度的尺寸宽度X,系对周期W成正比。 15.如申请专利范围第4项记载之适用于分区图像观 察装置的图案形成构件,其中,前述多数的区域的 图案中,至少有两个,系前述透光部的宽度和前述 遮光部的宽度比相等,且在前述每个区域中,前述 透光部和前述遮光部的尺寸宽度不同。 16.如申请专利范围第15项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,分别设在前述同 心圆状的各复数领域之不同方向区域的宽度为X, 各前述直线状图案的透光部与遮光部的周期为W时 ,则各复数领域的X是与W成比例。 17.如申请专利范围第16项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,前述遮光部的宽 度和前述透光部的宽度相同的至少两个同心圆状 区域,依照透光部与遮光部的周期W较大者配置在 同心圆的外侧的顺序,使得在内侧的同心圆状区域 上的异方向区域的宽度的尺寸,系比在前述外侧的 同心圆状区域上的异方向性区域的宽度还要小。 18.一种适用于分区图像观察装置的图案形成构件, 系适用于,将来自前述试料的光线作为分区图像而 取得的分区图像观察装置之图案形成构件,且将光 源射出的光线选择性地照射在试料上,扫描前述试 料,依据被照射的光,选择从该试料放射的光之图 案形成构件,其特征为:前述图案形成构件系具有 可透过光线的透光部以及可遮蔽光线的遮光部交 互形成之旋转碟,藉由在光路上旋转前述旋转碟的 方式照射前述试料,且设有对于观察视野内的旋转 碟的旋转扫描方向(H方向)及前述直线状图案成为 相互平行之部分进行遮光之遮光区域。 19.如申请专利范围第18项记载之适用于分区图像 观察装置的图案形成构件,其中,前述遮光区域的 形状为扇状。 图式简单说明: 第1图为,表示以往共焦点显微镜的一例之概略构 成图。 第2图为,表示使用在以往共焦点显微镜上的旋转 碟的概略构成图。 第3A图及第3B图为,表示使用在以往共焦点显微镜 上的旋转碟的概略构成图。 第4图为,表示本发明之第1实施形态的概略构成图 。 第5A图及第5B图为,表示使用在第1实施形态的旋转 碟的概略构成图。 第6A图及第6B图为,用来说明第1实施形态的图。 第7图为,表示使用在本发明之第2实施形态的旋转 碟的概略构成图。 第8图为,表示使用在本发明之第3实施形态的旋转 碟的概略构成图。 第9图为,表示使用在本发明之第4实施形态的旋转 碟的概略构成图。 第10图为,表示使用在本发明之第5实施形态的旋转 碟的概略构成图。 第11图为,用来说明第5实施形态的图。 第12图为,表示适用于有关于第6实施形态的共焦点 显微镜之概略构成图。 第13A图及第13B图为,表示在第6实施形态中旋转碟 的图。 第14图为,表示在本发明之第7实施形态中旋转碟的 图。 第15A图及第15B图为,表示在本发明之第8实施形态 中旋转碟的图。 第16图为,表示在本发明之第9实施形态中旋转碟的 图。 第17图为,表示在本发明之第10实施形态中旋转碟 的图。 第18图为,表示在本发明之第11实施形态中旋转碟 的图。 第19图为,在第18图中旋转碟28的图案部之部份扩大 图。 第20图为,表示在本发明之第12实施形态的说明图 。 第21图为,表示明暗比与异方向范围的宽度X的说明 图。 第22图为,表示明暗比与异方向范围的宽度X的说明 图。 第23A图及第23B图为,表示在本发明之第13实施形态 中旋转碟的图。 第24图为,表示计算明暗比与异方向范围的宽度X的 关系之结果图。 第25图为,表示计算明暗比与异方向范围的宽度X的 关系之结果图。 第26图为,表示在本发明之第14实施形态中旋转碟 的图。 第27图为,旋转碟与第1接目镜的一部份之扩大图。 第28图为,表示在本发明之第15实施形态中旋转碟 的图。 第29图为,表示本发明之第15实施形态的构成之说 明图。 第30A图到第30C图为,表示微反射镜列的构成图。 第31A图到第31B图为,表示以微反射镜列作成的图案 例之图。 第32A图到第32D图为,表示以微反射镜列作成的图案 例之图。 第33图为,表示本发明之第17实施形态的概略构成 图。 第34图为,表示使用第17实施形态的激发滤光器之 透过特性的图。 第35A图第35B图为,表示使用第17实施形态的PBS以及 吸收滤光器之反射透过特性的图。 |
