发明名称 于电子元件上形成焊接区域之方法以及具有焊接区域之电子元件
摘要 本发明系揭露一种于电子元件上形成焊接区域之方法。该方法系包括:(a)提供具有一个或多个接触垫之基板;以及(b)于该接触垫上施加锡膏。该锡膏包括载体(carrier vehicle)与具有金属粒子之金属成分。该锡膏具有之固化温度系低于该会导致锡膏熔化后再固化之固化温度。此外亦提供一种可透过该发明方法形成之电子元件。本发明特别可应用于在半导体元件上形成互连凸块之半导体工业中,举例而言,可应用于利用凸块焊接制程将积体电路焊接至模组电路或印刷线路板。
申请公布号 TWI254392 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW093138886 申请日期 2004.12.15
申请人 罗门哈斯电子材料有限公司 发明人 布莱斯;托宾
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路80号6楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路80号6楼
主权项 1.一种于电子元件上形成焊接区域之方法,系包括: (a)提供包含一个或一个以上之接触垫之基板;以及 (b)于该接触垫上施加锡膏,该锡膏包括载体(carrier vchicle)与包含金属粒子之金属成分, 其中该锡膏具有之固化温度(solidus temperature)系低 于会导致该锡膏熔化后再固化之固化温度。 2.如申请专利范围第1项之方法,其中百分之50或以 上之该粒子系具有50奈米或以下之直径。 3.如申请专利范围第1或2项之方法,其中该金属及/ 或金属合金粒之平均直径系为30奈米或以下。 4.如申请专利范围第1或2项之方法,复包括: (c)于足以有效融化该锡膏之温度下加热该锡膏;以 及 (d)令该熔化物固化。 5.如申请专利范围第1或2项之方法,其中该基板包 含复数个接触垫以及复数个于该接触垫上相对应 之焊接区域。 6.如申请专利范围第1或2项之方法,复包含: (c)提供包含与该第一基板之一个或一个以上的接 触垫对应之一个或一个以上的接触垫之第二基板; 以及 (d)令该第一基板与第二基板相互接触,其中该第二 基板之接触垫系对准于第一基板之接触垫。 7.如申请专利范围第6项之方法,其中于步骤(d)中该 第二基板接触垫系与该锡膏接触之,复包含: (e)于步骤(d)之后,于足以有效熔化该锡膏之温度下 加热该锡膏。 8.一种电子元件,系包括: (a)包含一个或一个以上之接触垫之基板;以及 (b)位于该接触垫上之锡膏,该锡膏包括载体与包含 金属粒子之金属成分, 其中该锡膏具有之固化温度系低于该会导致该锡 膏熔化后再固化之固化温度。 9.如申请专利范围第8项之电子元件,其中百分之50 或以上之该粒子系具有50奈米或以下之直径。 10.如申请专利范围第8或9项之电子元件,其中该基 板包含复数个接触垫以及于该接触垫上之对应焊 锡凸块。 图式简单说明: 第1(a)至(f)图系显示依据本发明于电子元件上以互 连凸块形式呈现之焊接区域的不同形成阶段之断 面图; 第2(a)及(b)图系显示依据本发明透过将具有以互连 凸块形式呈现之焊接区域的电子元件接置于基板 所形成之电子元件的不同形成阶段之断面图; 第3(a)至(f)图系显示依据本发明的另一种态样于电 子元件上之焊接区域的不同形成阶段之断面图;以 及 第4(a)及(b)图系显示依据本发明之另一态样将具有 焊接区域的电子元件接置于基板的不同形成阶段 之断面图。
地址 美国