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发明名称
媒质注入器
摘要
在一根据本发明之媒质注入器中,用以输送尤其是流体媒质进入程序室,其最好具一输入装置及至少一槽做为媒质之输送开口,其中槽具至少二槽边界面,及于其间设计之槽室,其中,至少一槽边界面藉由第一管件之至少一顶面之至少一部份所构成。
申请公布号
TW200614879
申请公布日期
2006.05.01
申请号
TW094119154
申请日期
2005.06.10
申请人
里波德光学有限公司
发明人
彼得.佩赫;埃克哈德.威尔特;罗兰.施奈德
分类号
H05H1/00;C23C16/44
主分类号
H05H1/00
代理机构
代理人
李品佳
主权项
地址
德国
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