发明名称 媒质注入器
摘要 在一根据本发明之媒质注入器中,用以输送尤其是流体媒质进入程序室,其最好具一输入装置及至少一槽做为媒质之输送开口,其中槽具至少二槽边界面,及于其间设计之槽室,其中,至少一槽边界面藉由第一管件之至少一顶面之至少一部份所构成。
申请公布号 TW200614879 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW094119154 申请日期 2005.06.10
申请人 里波德光学有限公司 发明人 彼得.佩赫;埃克哈德.威尔特;罗兰.施奈德
分类号 H05H1/00;C23C16/44 主分类号 H05H1/00
代理机构 代理人 李品佳
主权项
地址 德国