摘要 |
防止起因于层间绝缘膜之孔洞与缺陷所引起之短路不良的问题。闸极电极2、保持容量共通电极3、闸极配线4、闸极端子5、源极电极9、汲极电极10、源极配线11以及源极端子12构成第1电极;画素电极22、闸极端子垫23、以及源极端子垫24构成第2电极。层间绝缘膜14、18用于隔绝第1电极、第2电极。除了至少形成由层间绝缘膜14、18所构成之两层结构外,至少根据两次以上之制程形成位于上述层间绝缘膜14、18内之接触洞。即使在层间绝缘膜14、18内发生孔洞与缺陷,也可以防止接触洞以外的部分发生电极间之短路不良的问题,因此可以提生产率。 |