| 摘要 |
本发明之聚合物系含有具有下述式(1)所示特定缩醛骨架构成单位者，可以使用于DUV准分子雷射微影术、电子线微影术、EUV微影术等作为光阻树脂使用。094116379-p01.bmp(式(1)中，R系表示氢原子或甲基。R^1、R^2系各自独立之氢原子或是碳数1～20的烷基，或是，R^1、R^2一起形成环结构。A^1系表示单键、伸烷基、羟基伸烷基、–C(O)O–或–CH2CH2OC(O)–，A^2系表示单键、伸烷基、羟基伸烷基、–CO–、–C(O)O–或–C(O)OCH2CH2–，Z系可具有取代基之环己烷环、降烷环、二环〔2,2,2〕辛烷环、或是四环〔4.4.0.1^2,5〕十二烷环)。 |
