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本发明系关于一种正型光阻组成物，其包含硷溶解度会因酸之作用而改变的树脂组份(A)、酸产生剂组份(B)、及聚丙二醇，其中该组份(A)包含一含有通式(I)所示之结构单元(a1)、通式(II)所示之结构单元(a2)、及具有酸可解离之溶解抑制基之结构单元(a3)的树脂组份(A1)，094114393-p01.bmp其中，R表示氢原子或甲基，且m表示1至3之整数，094114393-p02.bmp其中，R表示氢原子或甲基，R^1表示具有1至5个碳原子数之烷基，且e表示0至3之整数。094114393-p01.bmp |
