| 摘要 |
本发明揭示一种印刻微影装置，其包括：一模板(34)、一基板台(31)及一经设置以使模板(34)与一提供于一基板(30)上之基板对齐标记(39、39’)对齐之对齐系统(35、36、37)。基板台(31)经设置以支撑基板(30)，基板(30)具有一欲被印刻之第一表面(32)及一朝向基板台(31)之第二表面(50)。该装置之特征在于，基板对齐标记(39、39’)提供于基板(30)之第二表面(50)上，且基板台(31)进一步包括一使对齐系统(35、36、37)能够看到基板对齐标记(39、39’)之基板台光学系统。本发明进一步扩展至一种装置制造方法及一种其所制造之装置。 |
