晶圆加工用胶带

摘要

一种晶圆加工用胶带(10)，具有中间树脂层(2)、可移除黏着层(3)以及视需要而设置之黏合层(4)，该等层系依此顺序积层于基板膜(1)上，其中，该中间树脂层在80℃之储存弹性模数系大于该可移除黏着层80℃之储存弹性模数。