致命缺陷尺寸的检测方法

摘要

一种致命缺陷尺寸的检测方法，此方法是先于一期间内，对一制程之一膜层进行扫瞄，以得到多数组缺陷资料。接着，从缺陷资料中取得多数组常态缺陷资料，并由常态缺陷资料之缺陷图与电性测试图进行叠对，以得到命中率。继之，将常态缺陷资料依据监测缺陷尺寸大小与命中率，以求出致命缺陷尺寸。然后，由常态缺陷资料的监测缺陷尺寸与其对应之多数个实际缺陷尺寸之间的关连性以求得匹配率。接着，再由匹配率验证致命缺陷尺寸的准确性之后，根据上述的各步骤建立统计制程控制图，对制程进行即时监控。