自行排放之边缘轮系统及方法

摘要

本发明提供一种防止清洗操作期间之累积的流体转移到晶圆的系统与方法。详言之，藉由复数之自行排放之边缘轮固定住晶圆时，就可将与自行排放之边缘轮接触的任一流体从晶圆疏导到各自行排放之边缘轮的下表面。疏导系由于制造自行排放之边缘轮的下半部而产生，故可具有不同的架构。不同的架构系增加从晶圆疏导掉的流体。为了进一步防止流体弄湿自行排放之边缘轮的下表面，故使一边缘轮乾燥器近接地靠近至少一自行排放之边缘轮，俾能利用边缘轮乾燥器的一真空通道从下表面抽吸掉流体。