氮化铝烧结体

摘要

本发明目的是提供一种藉由最小化一氮化铝烧结体中之细孔而具有优异热均匀性之晶座。在一种根据本发明之氮化铝烧结体中，锡含量及硫含量受到控制，促使锡含量及硫含量不超过一固定量。具体而言，在一种具有氮化铝作为主要组份之氮化铝烧结体中，该氮化铝烧结体中之该锡含量不超过50 ppm且该硫含量不超过100 ppm。较佳方式为，在该氮化铝烧结体中形成一电阻加热体，并且较佳方式为，使用该氮化铝烧结体作为一半导体加热单元。