含氟聚合性酯化合物、其制造方法、聚合物、光阻组成物及图型之形成方法

摘要

本发明系关于一种含氟聚合性酯化合物，其特征为下述一般式(1)或(2)所示者；094123231-p01.bmp(式中，R^1表示氢原子、甲基或三氟甲基；R^2表示二价烃基。R^3表示氢原子或1价之烃基；又，R^2与R^3彼此键结与彼等所键结的碳原子可一起形成环；R^4表示氢原子、羟基、或一价烃基；R^5表示酸不安定基)。本发明为提供一种新颖的含氟聚合性酯化合物，该含氟聚合性酯化合物适用于功能性材料、医药．农药等原料上，其中作为制造敏辐射线光阻组成物之基材树脂的聚合物单体时非常有用。094123231-p01.bmp