发明名称 遮罩、遮罩之制造方法、遮罩之制造装置
摘要 本发明之遮罩具备有:已形成好开口的基材,除了形成多个的贯穿孔外,也对应于上述开口而被接合到上述基材的遮罩构件,以及依据所设定的间隔来保持上述基材与上述遮罩构件的间隔件(spacer)。
申请公布号 TWI254376 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW093105311 申请日期 2004.03.01
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 中楯真
分类号 H01L21/31;H05B33/10 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种遮罩,其具备有: 形成有开口的基材; 除了形成有多个的贯穿孔外,也对应于上述开口被 接合在上述基材的遮罩构件及; 依据所设定的间隔来保持上述基材与上述遮罩构 件的间隔件。 2.如申请专利范围第1项之遮罩,其中上述间隔件系 与接着剂一起被配置在上述基材与上述遮罩的接 合领域。 3.如申请专利范围第1项之遮罩,其中上述间隔件是 具有大略与所述所设定的间隔相同直径的多个球 体所构成。 4.一种遮罩之制造方法,其具备有: 准备形成有开口的基材,形成有多个贯穿孔的遮罩 构件,与间隔件的工程; 将上述间隔件混合在将上述基材与上述遮罩构件 结合的接着剂内的工程; 将已混合有上述间隔件的上述接着剂涂布在上述 基材与上述遮罩构件之接合领域的工程及; 将上述遮罩构件对应于上述开口而接合到上述基 材的工程。 5.如申请专利范围第4项之遮罩之制造方法,其中上 述间隔件为一具有所设定之直径的球体。 6.一种遮罩之制造方法,其具备有: 准备已形成有开口的基材与在遮光材已形成有多 个贯穿孔的遮罩构件的工程; 将光硬化型接着剂涂布在上述基材或上述遮罩构 件的工程; 将上述遮罩构件对应于上述开口而接合到上述基 材的工程; 让上述基材与上述遮罩构件密接着,而让上述光硬 化型接着剂从上述基材与上述遮罩构件的接合领 域漏出的工程; 从上述遮罩构件侧来照射光而让上述光硬化型接 着剂之一部分硬化的工程及; 从上述基材侧至少经由上述开口来照射光而让上 述光硬化型接着剂硬化的工程。 7.如申请专利范围第6项之遮罩之制造方法,其中上 述基材是由透光性材料所构成。 8.如申请专利范围第6项之遮罩之制造方法,让上述 光硬化型接着剂从上述基材与上述遮罩构件的接 合领域只漏出到上述遮罩构件的外周侧。 9.如申请专利范围第6项之遮罩之制造方法,包含有 在让上述基材与上述遮罩构件密接后,将上述光硬 化型接着剂涂布在上述遮罩构件之外周侧的工程 。 10.一种遮罩之制造方法,其具备有: 准备已形成有开口的基材与已形成有多个贯穿孔 之遮罩构件的工程; 将上述遮罩构件对应于上述开口而接合于上述基 材的工程及; 管理上述遮罩构件与上述基材之接合的温度的工 程。 11.如申请专利范围第10项之遮罩之制造方法,其中 上述遮罩是除了在上述基材形成多个的上述开口 外,也分别对应于上述开口而接合多个的上述遮罩 构件的遮罩,而针对上述多个的遮罩构件个别管理 接合的温度。 12.如申请专利范围第10项之遮罩之制造方法,将上 述遮罩构件以及上述基材设定在所设定的温度而 加以接合。 13.如申请专利范围第12项之遮罩之制造方法,其中 上述所设定的温度是一在已使用了上述遮罩之蒸 镀处理时的上述遮罩的温度。 14.一种遮罩之制造方法,其具备有: 准备已形成有开口的基材,与在遮光材形成有多个 贯穿孔的遮罩构件的工程; 将间隔件混合在让上述基材与上述遮罩构件结合 的光硬化型接着剂中的工程; 将上述光硬化型接着剂涂布在上述基材或上述遮 罩构件的工程; 将上述遮罩构件对应于上述开口而接合到上述基 材的工程; 让上述基材与上述遮罩构件密接,而让上述光硬化 型接着剂从上述基材与上述遮罩构件的接合领域 漏出的工程; 从上述遮罩构件侧来照射光而让上述光硬化型接 着剂的一部分硬化的预备硬化工程及; 从上述基材侧至少经由上述开口来照射光而让上 述光硬化型接着剂硬化的真正硬化工程。 15.如申请专利范围第14项之遮罩之制造方法,至少 在上述预备硬化工程以及上述真正硬化工程中管 理上述遮罩构件与上述基材之接合的温度。 16.一种遮罩之制造装置,其主要是一具备有已形成 有开口的基材,与除了形成多个的贯穿孔外,也对 应于上述开口被接合的遮罩构件的遮罩之制造装 置,而具备有: 用于保持上述遮罩构件的遮罩保持部,用于管理上 述遮罩构件之温度的遮罩温度管理部,用于保持上 述基材的基材保持部,以及用于管理上述基材之温 度的基材温度管理部, 让上述遮罩保持部的上述基材保持部作相对移动, 而让上述遮罩构件密接在上述基材。 17.如申请专利范围第16项之遮罩之制造装置,具备 有让被涂布在上述基材以及上述遮罩构件之接合 领域的光硬化型接着剂硬化的灯。 图式简单说明: 图1A及图1B为表示遮罩的说明图。 图2A以及图2B为表示遮罩之接合领域的放大图。 图3为表示基材的说明图。 图4为表示遮罩构件的说明图。 图5为表示遮罩制造装置的模型图。 图6A到图6C为表示光硬化型接着剂之涂布方法的说 明图。 图7为表示真空蒸镀装置的说明图。 图8A以及图8B为表示遮罩之使用方法的说明图。 图9A到图9C为表示发光材料之成膜方法的说明图。 图10为表示光电装置的说明图。 图11为表示电子机器的说明图。
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