发明名称 切割刀调整角度方法
摘要 本发明系有关于一种切割刀调整角度方法,系于进行切割刀之实际压刀作业之前,先使切割刀之刀刃于一透明薄膜上产生压痕,并撷取前述压痕之影像,之后再以数值分析方法以及所设定之公式自动进行切割刀之角度与位置之计算与调整,且可重复进行前述之计算与调整动作,如此即可精确调整切割刀其刀刃之角度与位置,藉以得到一水平、均匀之压痕。另外,藉由自动调整之方式亦可减少调整之时间,进而可藉以提高产能。
申请公布号 TWI254413 申请公布日期 2006.05.01
申请号 TW093124535 申请日期 2004.08.16
申请人 财团法人工业技术研究院 发明人 陈贵荣;谭子陵;赖志一;陈孟群
分类号 H01L21/78;B26D5/00 主分类号 H01L21/78
代理机构 代理人
主权项 1.一种切割刀调整角度方法,包括下列步骤: 步骤A:提供一透明薄膜、及一切割刀其系位于该 透明薄膜之上方,且该切割刀包括有一中央轴、一 横轴、及一刀刃,该切割刀并具有一预设规格; 步骤B:垂直降下该切割刀并使该切割刀之刀刃于 该透明薄膜之上表面压出一压痕; 步骤C:撷取该透明薄膜上表面上之该压痕之影像; 步骤D:将该压痕之影像进行数位化处理成为n*m像 素之影像范围,并以数値分析方法计算该压痕影像 之上缘逼近线、及下缘逼近线; 步骤E:计算该上缘逼近线与一基准线间之上缘偏 差角度1、并计算该下缘逼近线与该基准线间之 下缘偏差角度2;以及 步骤F:计算该横轴之修正角度T、及该中央轴之 修正角度A,其中, T = f1 (1 -2), A = f2 (1 +2), 其中,f1与f2系分别为一修正参数其系对应于该切 割刀之预设规格。 2.如申请专利范围第1项所述之切割刀调整角度方 法,其中,该切割刀系为一钻石切割刀。 3.如申请专利范围第1项所述之切割刀调整角度方 法,其中,于该步骤C中,系以一影像撷取装置撷取该 透明薄膜上表面上之该压痕之影像。 4.如申请专利范围第3项所述之切割刀调整角度方 法,其中,该影像撷取装置系为一CCD摄影机。 5.如申请专利范围第1项所述之切割刀调整角度方 法,其中,于该步骤D中,系以一影像分析软体自动将 该压痕影像数位化处理成为n*m像素之影像范围。 6.如申请专利范围第1项所述之切割刀调整角度方 法,其中,于该步骤D中,该数値分析方法系为最小平 方差法。 7.如申请专利范围第1项所述之切割刀调整角度方 法,其中,于该步骤E中,系以三角函数计算该上缘逼 近线与该基准线间之该上缘偏差角度1、并同样 以三角函数计算该下缘逼近线与该基准线间之该 下缘偏差角度2。 图式简单说明: 图1系本发明较佳实施例之结构示意图。 图2系本发明较佳实施例之切割刀与透明薄膜之示 意图。 图3系本发明较佳实施例之流程图。 图4系本发明较佳实施例之压痕影像之示意图。 图5系本发明较佳实施例之上、下缘逼近线之示意 图。 图6系本发明较佳实施例之压痕横轴角度与横轴角 度偏差之关系曲线图。 图7系本发明较佳实施例之压痕中央轴角度与中央 轴角度偏差之关系曲线图。 图8A系本发明压痕之示意图之一。 图8B系本发明压痕之示意图之二。 图8C系本发明压痕之示意图之三。 图8D系本发明压痕之示意图之四。 图8E系本发明压痕之示意图之五。
地址 新竹县竹东镇中兴路4段195号