发明名称 PROCEDIDMIENTO Y APARATO PARA SACAR UNA CINTA DE CRISTAL.
摘要 Un aparato para sacar una tira de cristal de semiconductores continuamente desde un crisol (12), que comprende: un horno de crecimiento del cristal (11) que tiene un crisol (12), una pareja de cintas sin fin (20a, 20b) para sacar continuamente una tira de cristal de semiconductores (15) desde dicho crisol (12), comprendiendo dicho aparato: un dispositivo de control de la posición (23) para ajustar mecánicamente una posición transversal de la tira de cristal de semiconductores (15), estando dispuesto dicho dispositivo de control de la posición (23) en una trayectoria para extraer la tira de cristal de semiconductores (15) desde el crisol (12), donde dicho dispositivo de control de la posición (23) comprende;: una pareja de bloques (25) dispuestos sobre cada lado de dicha trayectoria, teniendo dichos bloques (25) caras laterales (27) para ajustar una dirección de la tira de cristal de semiconductores (15) contactando con un borde de la tira, siendo movidos dichos bloques (25) periódicamente desde sus posiciones iniciales (A) hacia la tira de cristal (15), y una pareja de sensores de posición (26) montados, respectivamente, sobre dichos bloques (25) para detectar un borde de la tira y para fijar la posición transversal de dicho bloque.
申请公布号 ES2251536(T3) 申请公布日期 2006.05.01
申请号 ES20020005528T 申请日期 2002.03.11
申请人 EBARA CORPORATION 发明人 TERAO, KENJI;ISOZAKI, HIDEYUKI;YAMAGUCHI, YASUYOSHI
分类号 C30B15/20;C30B15/00;C30B15/34;C30B29/06;C30B29/64;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/00 主分类号 C30B15/20
代理机构 代理人
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