发明名称
摘要
申请公布号 JP3770718(B2) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 JP19970352661 申请日期 1997.12.22
申请人 发明人
分类号 C09K13/00;C11D7/02;C11D17/00;C23C16/44;C23G5/00;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065 主分类号 C09K13/00
代理机构 代理人
主权项
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