| 发明名称 | 微机械零件三维加工装置 | ||
| 摘要 | 微机械零件三维加工装置，它属于纳米加工装置。现有的基于扫描探针显微镜的加工还只局限于平面二维微图形，没有形成一整套类似于超精密金刚石车削加工的加工机理与相关技术。本发明包括机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。本发明产品具有精度高、效果好的优点。 | ||
| 申请公布号 | CN1253285C | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200410013586.1 | 申请日期 | 2004.02.27 |
| 申请人 | 哈尔滨工业大学 | 发明人 | 孙涛;闫永达;胡振江;梁迎春;张龙江;董申 |
| 分类号 | B23Q1/25(2006.01);B23Q5/00(2006.01) | 主分类号 | B23Q1/25(2006.01) |
| 代理机构 | 哈尔滨市松花江专利商标事务所 | 代理人 | 张伟;王吉东 |
| 主权项 | 1.一种微机械零件三维加工装置，它包括设有支架横梁(1-5)的机械台体(1)、设置在机械台体(1)上的三维粗动工作台(2)，三维粗动工作台(2)平放在机械台体(1)的台面上，其特征在于在机械台体(1)上设有加工头部件(3)和光学系统(4)，加工头部件(3)安放在机械台体(1)的支架横梁(1-5)的下方，光学系统部件(4)安装在机械台体(1)的支架横梁(1-5)的上方；三维粗动工作台(2)从上至下分为三层，在三维粗动工作台(2)上设有主轴系统(5)，主轴系统(5)安装在三维粗动工作台(2)的最上层；所述三维粗动工作台(2)、加工头部件(3)、光学系统(4)、主轴系统(5)都与控制系统(6)相连。 | ||
| 地址 | 150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号 | ||