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发明名称 PREVENTION METHOD OF TRANSFER CHAMBER POLLUTION AND PLASMA PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20060034839(A) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 KR20040083841 申请日期 2004.10.20
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 LEE, YOUNG JONG;CHOI, JUN YOUNG;CHO, SAENG HYUN
分类号 H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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