| 发明名称 | 微细结构元件的制造方法及其应用 | ||
| 摘要 | 一种微细结构元件的制造方法，包括：第1平坦部形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀在上述基板(500)上形成作为第1平坦部的上部平坦面(301)；第2平坦部形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀，只以预定深度(h)对作为第1平坦部的上部平坦面(301)进行切削，来形成作为第2平坦部的下部平坦面(302)；折射面形成工序，该工序中利用作为切削部的平坦切削刀(401)，形成对作为第2平坦部的下部平坦面(302)具有预定角度(θa)、作为折射面的斜面(303)。 | ||
| 申请公布号 | CN1764516A | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200580000136.1 | 申请日期 | 2005.03.04 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 上岛俊司 |
| 分类号 | B23Q15/04(2006.01);G02B5/02(2006.01);G02B5/04(2006.01) | 主分类号 | B23Q15/04(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市中咨律师事务所 | 代理人 | 陈海红;段承恩 |
| 主权项 | 1.一种微细结构元件的制造方法，其特征为，包括：平坦部形成工序，该工序中利用切削部在基板上形成平坦部；和折射面形成工序，该工序中利用所述切削部，形成对上述平坦部具有预定角度的折射面。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||