| 发明名称 | 硅基板及其形成方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及硅基板，硅基板1的结构是，在结晶质硅基板的至少一个主面2一侧形成有硅结晶的凹部，具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域3。另外，关于玻璃质区域3，其玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、为900℃以下。通过成为这样的构成，能够实现玻璃与硅结晶之间的内部变形减少的硅基板及其形成方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1764855A | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200480008005.3 | 申请日期 | 2004.03.31 |
| 申请人 | 浜松光子学株式会社;永田清一 | 发明人 | 永田清一 |
| 分类号 | G02B6/12(2006.01) | 主分类号 | G02B6/12(2006.01) |
| 代理机构 | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人 | 龙淳 |
| 主权项 | 1.一种硅基板，其特征在于：在结晶质硅基板的至少一个主面一侧形成硅结晶的凹部，具有以被埋入该凹部的氧化硅该为主要成分的玻璃质区域，同时，所述玻璃质区域的玻璃化转变温度Tg比纯粹的二氧化硅玻璃的玻璃化转变温度低、是900℃以下。 | ||
| 地址 | 日本国静冈县 | ||