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发明名称
摘要
申请公布号	JP3770368(B2)	申请公布日期	2006.04.26
申请号	JP19990167555	申请日期	1999.06.14
申请人		发明人
分类号	G09F9/30;H01L21/336;H01L29/786;H01L51/50;H05B33/08;H05K1/11	主分类号	G09F9/30
代理机构		代理人
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