| 发明名称 | 用于校准装置的方法、用于校准多个并排放置的装置的方法以及适于实施这种方法的物体 | ||
| 摘要 | 一种用于校准包括照相机的至少一个装置(2)的方法，其中使具有至少一个基准元件(4、11、12、13、14)的物体(3、10)进入所述照相机的成像区域内。从所述照相机得到的图像(5、6、8、9、15、16)中确定所述基准元件(4、11、12、13、14)相对于所述装置(2)的第一位置。随后对所述物体(3、10)施加相对于所述装置(2)的位移。从所述照相机得到的第二图像(5、6、8、9、15、16)中确定所述基准元件(4、11、12、13、14)相对于所述装置(2)的第二位置。由所述第一和第二相对位置确定所述物体(3、10)(3)相对于所述装置(2)的实际位移，将所述实际位移与所述施加的位移进行比较。 | ||
| 申请公布号 | CN1765012A | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200480008041.X | 申请日期 | 2004.03.19 |
| 申请人 | 阿森姆布里昂股份有限公司 | 发明人 | J·L·霍里乔恩;A·德博克;R·M·A·L·佩蒂特 |
| 分类号 | H01L21/68(2006.01) | 主分类号 | H01L21/68(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 廖凌玲;黄力行 |
| 主权项 | 1、一种用于校准至少一个包括照相机的装置(2)的方法，其特征在于，使具有至少一个基准元件(4、11、12、13、14)的物体(3、10)进入所述照相机的成像区域内，其后从所述照相机得到的图像(5、6、8、9、15、16)中确定所述基准元件(4、11、12、13、14)相对于所述装置(2)的第一位置，随后对所述物体(3、10)施加相对于所述装置(2)的位移，从所述照相机得到的第二图像(5、6、8、9、15、16)中确定所述基准元件(4、11、12、13、14)相对于所述装置(2)的第二位置，其后由所述第一和第二相对位置确定所述物体(3、10)(3)相对于所述装置(2)的实际位移，将所述实际位移与所述施加的位移进行比较。 | ||
| 地址 | 荷兰费尔德霍芬 | ||