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发明名称 SLIDING ANODE FOR A MAGNETRON SPUTTERING SOURCE
摘要
申请公布号 EP1649484(A1) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 EP20040738112 申请日期 2004.07.26
申请人 UNAXIS BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 HAAG, WALTER;GRUENENFELDER, PIUS
分类号 C23C14/32;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
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