PLANARIZATION APPARATUS FOR STEREO LITHOGRAPHY,申请号KR20040083853-传众专利搜索

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发明名称	PLANARIZATION APPARATUS FOR STEREO LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号	KR20060034848(A)	申请公布日期	2006.04.26
申请号	KR20040083853	申请日期	2004.10.20
申请人	POSTECH FOUNDATION	发明人	LEE, JIN WOO;CHO, DONG WOO;LEE, IN HWAN
分类号	B29C59/00;B29C59/02	主分类号	B29C59/00
代理机构		代理人
主权项
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