| 发明名称 | 半导体机台 | ||
| 摘要 | 一种半导体机台，包括一印刷电路板、一热源以及一调节装置。印刷电路板具有一第一表面以及一第二表面。热源对印刷电路板周围的一第一流体稳定提供一热量，以加热印刷电路板。调节装置调节第一表面的温度，使第一表面的温度低于第二表面的温度，以使印刷电路板的变形快速达到稳定状态。 | ||
| 申请公布号 | CN1763926A | 申请公布日期 | 2006.04.26 |
| 申请号 | CN200410086982.7 | 申请日期 | 2004.10.20 |
| 申请人 | 力晶半导体股份有限公司 | 发明人 | 刘佑信;蒋德兴;陈玉书 |
| 分类号 | H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | H01L21/66(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 魏晓刚;李晓舒 |
| 主权项 | 1.一种半导体机台，包括：一印刷电路板，具有一第一表面以及一第二表面；一热源，对该印刷电路板提供一热量，以加热该印刷电路板；一调节装置，调节该第一表面的温度，使该第一表面的温度低于该第二表面的温度，以使该印刷电路板的变形快速达到稳定状态。 | ||
| 地址 | 台湾省新竹市 | ||