发明名称 |
定位套件与定位方法 |
摘要 |
一种定位套件与定位方法,适用于机器的加载端口与搬运系统之间的定位。此定位套件包括信号发射单元及定位板,分别置于搬运系统及加载端口上。其中,信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板,且定位板上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态的定位板而穿过该二孔洞时,即表示加载端口已对准搬运系统。 |
申请公布号 |
CN1763906A |
申请公布日期 |
2006.04.26 |
申请号 |
CN200410088233.8 |
申请日期 |
2004.10.21 |
申请人 |
力晶半导体股份有限公司 |
发明人 |
林柏青;杨育正 |
分类号 |
H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);B65G49/07(2006.01) |
主分类号 |
H01L21/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
陶凤波;柳传扬 |
主权项 |
1、一种定位套件,适用于一搬运系统与一加载端口之间的定位,包括:一信号发射单元,其置于该搬运系统及该加载端口二者中的一者上;以及一定位板,其置于该搬运系统及该加载端口二者中的另一者上,其中该信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向该定位板;该定位板上对应于该二定位点处有二孔洞,亦即,当该二孔洞在该定位板呈水平的状态下对准该二定位点时,该加载端口即对准该搬运系统;以及当该二光束可垂直于水平状态的该定位板而穿过该二孔洞时,即表示该加载端口已对准该搬运系统。 |
地址 |
台湾省新竹市 |