发明名称 定位套件与定位方法
摘要 一种定位套件与定位方法,适用于机器的加载端口与搬运系统之间的定位。此定位套件包括信号发射单元及定位板,分别置于搬运系统及加载端口上。其中,信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向定位板,且定位板上有位置对应于二定位点的二孔洞。当此二光束可垂直于水平状态的定位板而穿过该二孔洞时,即表示加载端口已对准搬运系统。
申请公布号 CN1763906A 申请公布日期 2006.04.26
申请号 CN200410088233.8 申请日期 2004.10.21
申请人 力晶半导体股份有限公司 发明人 林柏青;杨育正
分类号 H01L21/00(2006.01);H01L21/68(2006.01);B65G49/07(2006.01) 主分类号 H01L21/00(2006.01)
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;柳传扬
主权项 1、一种定位套件,适用于一搬运系统与一加载端口之间的定位,包括:一信号发射单元,其置于该搬运系统及该加载端口二者中的一者上;以及一定位板,其置于该搬运系统及该加载端口二者中的另一者上,其中该信号发射单元上有二定位点可产生二光束射向该定位板;该定位板上对应于该二定位点处有二孔洞,亦即,当该二孔洞在该定位板呈水平的状态下对准该二定位点时,该加载端口即对准该搬运系统;以及当该二光束可垂直于水平状态的该定位板而穿过该二孔洞时,即表示该加载端口已对准该搬运系统。
地址 台湾省新竹市