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发明名称 DUAL DEGAS/COOL LOADLOCK CLUSTER TOOL
摘要
申请公布号 EP1303449(B1) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 EP20010950859 申请日期 2001.07.02
申请人 TEGAL CORPORATION 发明人 CLARKE, ANDREW
分类号 B65G49/07;C23C14/34;C23C14/56;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/677 主分类号 B65G49/07
代理机构 代理人
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