发明名称 Improvement of sioc properties and its uniformity in bulk for damascene applications
摘要
申请公布号 SG120990(A1) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 SG20040003850 申请日期 2004.06.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/26 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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