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发明名称 WAFER PROCESSING CHAMBER HAVING SEPARABLE UPPER AND LOWER HALVES
摘要
申请公布号 KR100573833(B1) 申请公布日期 2006.04.26
申请号 KR20000076339 申请日期 2000.12.14
申请人 发明人
分类号 B65G49/00;C23C14/48;F16K3/314;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/677 主分类号 B65G49/00
代理机构 代理人
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